氧化炉,扩散炉,LPCVD设备厂家LOGO

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主要产品有:氧化炉,扩散炉,LPCVD,HVPE,特气柜、尾气处理等半导体气体处理配套,石墨烯,氢气炉,热处理炉等真空热处理设备等。

  • 半导体工艺设备

    半导体工艺设备

    模块化、自动化可扩展、高可靠

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  • 特气&废气处理

    特气&废气处理

    处理半导体工艺过程中产生的废气,如氯气、氟化物、氯化物等

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  • 真空/气氛炉系列

    真空/气氛炉系列

    适用于高性能钐钴、钕铁硼等磁性材料的烧结、退火、扩散渗镝、渗铽等工艺

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  • 工厂自动化及升级改造

    工厂自动化及升级改造

    设备及工厂生产自动化工业4.0

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青岛华旗科技有限公司

团结 拼搏 创新 求索

青岛华旗科技有限公司为专业的半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、制造厂家。我公司制造的半导体工艺设备覆盖一、二、三、四代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等,高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等)同时承担了国家部分863项目(如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等)。

  • 2009
    成立时间
    J
  • 8000
    净化厂房
    C
  • 30
    研发经验
    M
  • 30+
    专利技术
    E
  • 1000+
    用户数量
    E

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