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专业半导体装备制造
配气及综合控制系统，通过计算机远程终止显示气瓶柜/气瓶架/配比柜等的运行状态及实时数据，将各种特种气体精确、安全的、按工艺要求的压力和流量等供应至工艺设备，确保气路系统安全、高效运行。
应用于半导体行业、电子材料、太阳能电池行业、生物工程、医药卫生、仿真等领域。
产品性能：
◆完善的安全警报装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）、烟雾、火焰报警
◆控制方式：“触摸屏+PLC”全自动控制（含手动控制）
◆气路设计合理完善，工作管路具备自动抽空、回充、压力指示等功能，并带有气瓶称重功能
产品分类
◆按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）
◆按气体分类：气瓶柜（易燃/易爆/腐蚀/有毒气体，SiH4、PH3、HCL等）气瓶架（高纯、氩气、氧气等）
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