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氨分解废气处理机系列

氨分解废气处理

产品性能:

◆“热解”+“分解”方式,节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气,将SiH4进行高温热解,将NH3直接进     行分解,无需氨水处理,无需燃烧。

◆处理能力,生产型:50SLM,生产型:400/600/1000/1500SLM


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