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专业半导体装备制造
系统介绍：
◆全自动化生产设备
◆自动上下装卸料
◆物料无人搬运，自动输送带传递
◆完整的工厂MES系统对接，标准通信系统，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
系统应用：
◆半导体4-8吋水平氧化扩散、LPCVD的设备自动化生产线
◆功能材料/磁性材料的设备自动化生产线
◆太阳能电池片设备自动化生产线
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