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产品性能:
◆4~8寸晶圆工艺,1~4/5管
◆恒温区:800/1000/1250mm
◆温度:200~1000℃
◆高精度可靠的自动压力控制系统
◆自动机械手进出舟,悬臂/软着陆
◆晶圆自动倒片,完整的工厂MES系统对接,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
配套工艺:
◆干湿氧化、扩散、退火、合金激活,LP-POCl3扩散,镓铝扩散等
◆LP多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2
◆LP磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG
◆LP TEOS,LTO,HTO,SIPOS...
◆PE 氮化硅、氧化硅等。
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