氧化扩散LPCVD炉

产品性能：

◆4～8寸晶圆工艺，1～4/5管

◆恒温区：800/1000/1250mm

◆温度：200～1000℃

◆高精度可靠的自动压力控制系统

◆自动机械手进出舟，悬臂/软着陆

◆晶圆自动倒片，完整的工厂MES系统对接，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准

配套工艺：

◆干湿氧化、扩散、退火、合金激活，LP-POCl3扩散，镓铝扩散等

◆LP多晶硅P-Si，氮化硅Si3N4，氧化硅SiO2

◆LP磷硅玻璃PSG，硼磷硅玻璃BPSG

◆LP TEOS，LTO，HTO，SIPOS...

◆PE 氮化硅、氧化硅等。

可根据用户要求提供如下配置及工艺
★全新SIC 6英寸方桨（长度2550-2650mm）,参考为下列品牌：圣戈班、AGC或同等质量的。 SIC桨表面需带有CVD镀层；5mm全新厚壁石英管和石英舟，石英炉管、石英舟尺寸与用户在用炉管、石英舟一致，图纸由用户提供；石英件参考为下列品牌：湖州东科电子石英、沈阳汉科半导体材料、连云港太平洋半导体材料、贺利氏信越石英或同等质量的；
★操作员面向操作面时， LOADSTATION在左侧，3个悬臂桨，并配置4个主控电脑；LOADSTATION高效过滤器风速可调。
★主炉和源炉Profile-TC和Spike-TC为国产全新S型（与河北奎铭电子同等质量的），系统温控精度±0.5度，至少150片正片工艺正常，满足工艺参数规范（标准槽间距8个舟，1、8舟为挡片舟，2-7舟为正片舟）。Profile-TC提供校准合格证书；
★炉管5温区，温区总长度大于1170mm，全新6寸标准炉体,进口炉丝；
★点火炉与点火腔3套，Highflow大流量型号（氢气12L，氧气8L）；全新的点火炉和点火腔，点火炉反馈源炉温度给系统，侧面热偶加尾部插入热偶和独立仪表（不切换），做历史数据存储；点火腔水冷带超温报警；火焰前端不能达到燃烧瓶本体；点火时爆鸣声不超过80分贝。点火器石英件用户可以提供参考图纸。点火器冷却水管使用金属软管。
★栅氧炉管上下料配置导轨和小车，我方现场确认后参照用户6寸栅氧炉管上下料方式设计（小车用户提供，我方改造为6寸小车）；ATMOSCAN配置一路保护N2。
★合金炉管配置全新氢气燃烧装置，内部两个烧氢电阻,烧氢电阻旁设置温度连锁TC,UV火焰检测；炉口安装法兰并配有冷却水降温，我方现场确认后参照用户6寸合金炉管设计。