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专业半导体装备制造
产品性能：
◆温度：500～2500℃，高温电阻/感应加热器，优化热场设计
◆多温区石墨坩埚，升降，提拉，等径控制等
◆腔体压力：1-10MPa，高压容器设计、制造及检测
◆工艺类型：提拉、PVT
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