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◆多段控温,温度均匀性高
◆氢氮气氛保护/真空多种工艺选择,连续式生产,生产效率高
◆多种链带板结构,多种工艺气体可控
◆可配合各种机械手自动完成工艺,如盒对盒等
◆烧结、退火、烧封、钎焊,APCVD、常压扩散等等
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