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◆200～1350℃/1600℃，6/3点控温
◆钼（或钨等）加热，六面/全面加热, 圆形+前后门加热
◆快冷、真空压力、气氛等的多工艺控制方式
◆反应室容积大，高洁净，高生产效率
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