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专业半导体装备制造
高温扩散炉的外观
扩散炉的四部分：
控制柜
推舟净化台
电阻加热炉
气源柜
1、控制部分：
整个控制柜分为五层，计算机控制部分分上层、中上层、中下层及下层四个独立部分，每层控制对应层的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。
在控制柜的底层，安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路及电路转接控制板, 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
2、推舟净化部分
推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是水平层流的高效过滤器及四层推舟的丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座，丝杠的右端安装有驱动步进电机，导轨的两端是限位开关。
柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。
电阻加热炉部分
电阻加热炉柜共有六层。顶层配置有水冷散热器及排热风扇，废气室顶部设有抽风口，与外接负压抽风管道连接后，可将工艺过程残余的废气带走。
中间部分分四层放置四个炉管，每层由四个坡面支架托起并固定住炉管，其位置在安装时已经与推舟送片机构——丝杠、导轨副调好对中，因此切不可轻易挪动
3、气源部分
气源柜分为五层。顶部设置有排毒口，用以排除在换源过程中泄漏的有害气体。
柜顶设置有三路工艺气体及一路压缩空气的进气接口，接口以下安装有减压阀、截止阀，用以对进气压力进行控制及调节。对应于气路，各层分别装有相应的电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、质量流量控制器、及源瓶冷阱等。
柜子的底部装有质量流量控制器电源、控制开关、保险等电路转接板以及设备总电源进线转接板。
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