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满足4~12吋晶圆工艺，通用型~1300℃/高温型~1350℃/快速升降温型水冷却型
高温加热体，快速升降温加热炉体
高温加热体，快速升降温加热炉体
高温加热体，快速升降温加热炉体
全系列氧化/扩散炉、LPCVD等设备的高质量加热炉体，满足4"、6"、8"、12"、晶圆制造工艺，技术领先，专业制造，二十余年的专有技术制造的加热炉体具有更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度、稳定性，以及更长的使用寿命。
全系列氧化/扩散炉、LPCVD等设备的高质量加热炉体，满足4"、6"、8"、12"、晶圆制造工艺，技术领先，专业制造，二十余年的专有技术制造的加热炉体具有更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度、稳定性，以及更长的使用寿命。
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