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等离子体废气处理系列

等离子体废气处理系列

产品性能:

◆ LPCVD、PECVD、刻蚀等的废气处理

◆ 采用等离子体、电热燃烧方式,内部喷淋水/配液循环,液体成分监测、具有自动补水补液

◆ 处理能力,科研型:100/200SLM

◆ 生产型:400/600/1000/1500SLM...



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